喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究.doc

  
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喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究,喷淋式mocvd反应器输运过程的数值模拟研究1.8万字47页 原创作品，已通过查重系统摘要 金属有机化学气相沉积（metal organic chemical vapor，简称mocvd）是制备半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜材料的一种技术。该技术是制备微电子和光电子包括激光和微波器件的关键，是半导体技术...
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分类: 论文>机械工业论文

内容介绍

喷淋式MOCVD反应器输运过程的数值模拟研究


1.8万字 47页 原创作品，已通过查重系统


摘要 金属有机化学气相沉积（metal organic chemical vapor，简称MOCVD）是制备半导体器件、金属、金属氧化物、金属氮化物等薄膜材料的一种技术。该技术是制备微电子和光电子包括激光和微波器件的关键，是半导体技术的一项重要支柱。该技术在薄膜制备方面对薄膜材料的质量、厚度的均匀性等要求非常严格，并涉及到了复杂的气体流动与传热传质问题，并伴随着许多物理化学现象的发生。因而国内关于反应器内流场与温度场的研究只是还处于起步阶段，对于MOCVD反应器内流动进行计算并掌握其规律是十分必要的。本文简要介绍CVD基本原理，MOCVD国内外研究现状，并对喷淋式MOCVD反应器的输运过程利用FLUENT软件进行数值模拟，研究反应器内各种操作参数（如气体的流量、压强、壁面和衬底的温度等）对流场、温度场的影响，研究反应器的几何形状和尺寸对输运过程的影响。


关键词：MOCVD反应器 流场 温度场 数值模拟



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